Паўправадніковыя фільтры

Паўправадніковыя газавыя фільтры:

Забеспячэнне бездакорнай чысціні газу пры вытворчасці мікрасхем

У складаным свеце вытворчасці паўправаднікоў, дзе дакладнасць і чысціня маюць першараднае значэнне, якасць

газы, якія выкарыстоўваюцца, гуляе вырашальную ролю ў вызначэнні поспеху працэсу. Прымешкі, нават на бясконца малых узроўнях,

можа нанесці хаос далікатнай схеме мікрачыпаў, зрабіўшы іх няспраўнымі і непрыдатнымі для выкарыстання. Абараніць

у гэтым крытычным працэсе паўправадніковыя газавыя фільтры стаяць як непахісныя вартаўнікі, старанна выдаляючы забруджванні

і забеспячэнне некранутай якасці газаў, якія праходзяць праз вытворчыя лініі.

Ёсць шмат выдатных характарыстык і пераваг металічных фільтраў

1. Створаны ў самых сучасных чыстых памяшканнях

Гэтыя фільтры нараджаюцца ў самым сучасным чыстым памяшканні, у асяроддзі, дзе бездакорныя ўмовы старанна падтрымліваюцца, каб звесці да мінімуму любое патэнцыйнае забруджванне. Яны праходзяць строгі вытворчы працэс, які пачынаецца з дакладнай зваркі ў атмасферы вычышчанага паветра. Наступная прамыўка дэіянізаванай вадой з наступнай прадуўкай адфільтраваным азотам пад высокім ціскам ліквідуе любыя часціцы, якія застаюцца, і зніжае рызыку выпадзення часціц.

2. Выключная эфектыўнасць выдалення часціц

Дзякуючы выдатнай эфектыўнасці фільтрацыі ў 9 LRV для часціц памерам 0,003 мкм, у адпаведнасці са строгімі стандартамі, устаноўленымі метадамі выпрабаванняў SEMI F38 і ISO 12500, гэтыя фільтры эфектыўна выдаляюць любыя часціцы, выкліканыя карозіяй, і часціцы, якія ўтвараюцца з рухомых частак, забяспечваючы некранутую чысціню газы.

3. Палепшаная механічная трываласць

Гэтыя фільтры прайшлі строгія выпрабаванні, каб гарантаваць выключную ўстойлівасць у патрабавальных вытворчых працэсах і асяроддзях, дзе часта выкарыстоўваецца высокі ціск газу, і забяспечваюць непахісную прадукцыйнасць на працягу ўсяго тэрміну службы.

4. Перавышэнне самых высокіх галіновых стандартаў

Гэтыя фільтры пераўзыходзяць строгія патрабаванні да фільтрацыі апрацоўкі газу для апрацоўкі паўправаднікоў, і праходзяць строгія выпрабаванні, каб гарантаваць, што яны адпавядаюць крытычнай эфектыўнасці фільтрацыі, дакладнаму кантролю патоку і стандартам бяспекі, якія прад'яўляюцца да сістэм падачы газу ў вытворчасці паўправаднікоў.

5. Нязломная прыхільнасць бяспецы

Каб засцерагчыся ад уздзеяння гаручых, каразійных, таксічных і пірафорных тэхналагічных газаў, корпусы фільтраў праходзяць дбайную праверку на герметычнасць, гарантуючы, што яны дасягаюць выдатнай хуткасці ўцечкі менш за 1x10-9 атм scc/секунду. Гэта непахісная прыхільнасць бяспецы гарантуе стрымліванне небяспечных газаў і прадухіленне прычынення шкоды.

6. Бескампрамісная чысціня для дасканаласці вытворчасці мікрасхем

Дзякуючы сваім выключным магчымасцям фільтрацыі, непахіснай прыхільнасці бяспецы і захаванню самых высокіх галіновых стандартаў, гэтыя газавыя фільтры адыгрываюць ключавую ролю ў захаванні складанага працэсу вытворчасці паўправаднікоў. Яны выступаюць як захавальнікі чысціні, гарантуючы, што толькі самыя чыстыя газы цякуць праз вытворчыя лініі, адкрываючы шлях для стварэння высокапрадукцыйных мікрачыпаў, якія сілкуюць наш сучасны свет.

Тыпы паўправадніковых фільтраў

Паўправадніковыя фільтры выкарыстоўваюцца ў розных сферах прымянення, у тым ліку:

* Вытворчасць электронікі:

Паўправадніковыя фільтры выкарыстоўваюцца для выдалення часціц з звышчыстай вады, газаў і хімічных рэчываў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў.

* Хімічная механічная планаризация (CMP):

Паўправадніковыя фільтры выкарыстоўваюцца для выдалення часціц з суспензій CMP, якія выкарыстоўваюцца для паліроўкі паўправадніковых пласцін.

* Біямедыцынскія:

Паўправадніковыя фільтры выкарыстоўваюцца для выдалення часціц з вадкасцяў, якія выкарыстоўваюцца ў медыцынскай дыягностыцы і лячэнні.

* Экалагічныя:

Паўправадніковыя фільтры выкарыстоўваюцца для выдалення часціц з паветра і вады.

Ёсць чатыры асноўных тыпу паўправадніковых фільтраў:

1. Мембранныя фільтры:

Мембранныя фільтры складаюцца з тонкай кіпрай плёнкі, якая дазваляе вадкасцям прапускаць наскрозь, затрымліваючы часціцы.

 

Мембранныя фільтры для паўправаднікоў

 

 

2. Глыбінныя фільтры:

Глыбінныя фільтры зроблены з тоўстага, звілістага пласта матэрыялу, які затрымлівае часціцы, калі яны цякуць праз фільтр.

 

Глыбінныя фільтры для паўправаднікоў

 

 

3. Фільтры-адсарбенты:

Адсарбентныя фільтры зроблены з матэрыялу, які прыцягвае і ўтрымлівае часціцы.

 

 Фільтры-адсарбенты для паўправаднікоў

 

 

4. Спеченные металічныя фільтры

Спечаныя металічныя фільтры - гэта тып глыбінных фільтраў, які звычайна выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправаднікоў. Яны вырабляюцца шляхам спякання дробнага металічнага парашка ў кіпрую структуру. Спеченные металічныя фільтры вядомыя сваёй высокай трываласцю, высокай эфектыўнасцю фільтрацыі і здольнасцю вытрымліваць высокія тэмпературы і ціску.

Перавагі спеченных металічных фільтраў для вытворчасці паўправаднікоў:

* Высокая трываласць:

Металічныя фільтры з спечанага металу вельмі трывалыя і могуць супрацьстаяць жорсткім умовам эксплуатацыі, уключаючы высокія тэмпературы, ціск і агрэсіўныя хімікаты.

 

* Высокая эфектыўнасць фільтрацыі:

Спечаныя металічныя фільтры могуць выдаляць часціцы памерам да 0,01 мікрона, што вельмі важна для абароны далікатных паўправадніковых кампанентаў ад забруджвання.

* Доўгі тэрмін службы:

Спечаныя металічныя фільтры маюць працяглы тэрмін службы, іх можна лёгка чысціць і выкарыстоўваць паўторна.

* Хімічная сумяшчальнасць:

Спечаныя металічныя фільтры сумяшчальныя з шырокім спектрам хімічных рэчываў, што робіць іх прыдатнымі для выкарыстання ў розных працэсах вытворчасці паўправаднікоў.

Прымяненне спечаных металічных фільтраў у вытворчасці паўправаднікоў:

* Ачыстка газаў:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца для ачысткі газаў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў, такіх як азот, вадарод і кісларод.

* Хімічная фільтрацыя:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца для фільтрацыі хімічных рэчываў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў, такіх як кіслоты, асновы і растваральнікі.

* Фільтрацыя звышчыстай вады:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца для фільтрацыі звышчыстай вады, якая выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправаднікоў.

* Фільтраванне завісі CMP:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца для фільтрацыі завісяў CMP, якія выкарыстоўваюцца для паліроўкі паўправадніковых пласцін.

Спечаныя металічныя фільтры з'яўляюцца важнай часткай працэсу вытворчасці паўправаднікоў, дапамагаючы забяспечыць вытворчасць высакаякасных паўправадніковых прыбораў.

 

Тып паўправадніковага фільтра, які выкарыстоўваецца ў канкрэтным дадатку, залежыць ад памеру часціц, якія выдаляюцца, тыпу вадкасці, якая фільтруецца, і жаданага ўзроўню фільтрацыі.

Вось табліца, якая абагульняе розныя тыпы паўправадніковых фільтраў:

Тып фільтра	Апісанне	Прыкладанні	Малюнак
Мембранныя фільтры	Выраблены з тонкай кіпрай плёнкі, якая дазваляе вадкасці праходзіць, затрымліваючы часціцы.	Вытворчасць электронікі, CMP, біямедыцынскія, экалагічныя	Мембранныя фільтры для паўправаднікоў
Глыбінныя фільтры	Выраблены з тоўстага звілістых пластоў матэрыялу, які затрымлівае часціцы, калі яны цякуць праз фільтр.	CMP, біямедыцынскія, экалагічныя	Глыбінныя фільтры для паўправаднікоў
Фільтры-адсарбенты	Выраблены з матэрыялу, які прыцягвае і ўтрымлівае часціцы.	Вытворчасць электронікі, CMP, біямедыцынскія, экалагічныя	Фільтры-адсарбенты для паўправаднікоў
Спеченные металічныя фільтры	Вырабляецца шляхам спякання дробнага металічнага парашка ў кіпрую структуру.	Газаачыстка, хімічная фільтрацыя, фільтрацыя звышчыстай вады, фільтрацыя шламу CMP	Адкрыецца ў новым акнеwww.hengko.com Спеченные металічныя фільтры для паўправаднікоў

Ужыванне

Газавыя фільтры з металічных паўправаднікоў шырока выкарыстоўваюцца ў розных галінах паўправадніковай прамысловасці. Іх унікальныя ўласцівасці, такія як высокая эфектыўнасць фільтрацыі, даўгавечнасць і здольнасць вытрымліваць высокія тэмпературы і ціскі, робяць іх важным кампанентам сістэм падачы газу ў вытворчасці паўправаднікоў.

Вось некаторыя з канкрэтных ужыванняў спеченных металічных паўправадніковых газавых фільтраў:

1. Вытворчасць вафель:

Спеченные металічныя фільтры выкарыстоўваюцца для ачысткі газаў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці пласцін, такіх як азот, вадарод і кісларод. Гэтыя газы важныя для такіх працэсаў, як эпітаксійны рост, тручэнне і легіраванне.

2. Хімічная фільтрацыя:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца для фільтрацыі хімічных рэчываў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў, такіх як кіслоты, асновы і растваральнікі. Гэтыя хімічныя рэчывы выкарыстоўваюцца ў розных мэтах, у тым ліку для ачысткі, тручэння і паліроўкі.

3. Фільтрацыя звышчыстай вады:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца для фільтрацыі звышчыстай вады (UPW), якая выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправаднікоў. UPW неабходны для ачысткі і прамывання пласцін, а таксама для падрыхтоўкі хімікатаў.

4. Фільтраванне завісі CMP:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца для фільтрацыі завісяў CMP, якія выкарыстоўваюцца для паліроўкі паўправадніковых пласцін. CMP з'яўляецца найважнейшым працэсам у вытворчасці мікрачыпаў.

5. Фільтрацыя ў месцы выкарыстання (POU):

Спечаныя металічныя фільтры часта выкарыстоўваюцца ў якасці POU фільтраў, якія ўсталёўваюцца непасрэдна ў месцы выкарыстання, каб забяспечыць самы высокі ўзровень фільтрацыі. Фільтры POU асабліва важныя для прыкладанняў, дзе чысціня газу мае вырашальнае значэнне, напрыклад, пры вытворчасці мікрапрацэсараў і іншых высокапрадукцыйных прылад.

6. Апрацоўка газу высокай чысціні:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца ў сістэмах апрацоўкі газу высокай чысціні для выдалення забруджванняў з газаў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў. Гэтыя забруджвальнікі могуць ўключаць часціцы, вільгаць і арганічныя злучэнні.

7. Вытворчасць мікраэлектронікі:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца ў вытворчасці мікраэлектронікі, такой як кампутары, планшэты, мабільныя тэлефоны, датчыкі IoT і прылады кіравання.

8. Мікраэлектрамеханічныя сістэмы (MEMS) фільтрацыі:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца ў MEMS-фільтрацыі, якая ўяўляе сабой працэс выдалення забруджванняў з мікраэлектрамеханічных сістэм. MEMS выкарыстоўваюцца ў розных сферах прымянення, уключаючы датчыкі, выканаўчыя механізмы і пераўтваральнікі.

9. Фільтрацыя прылады захоўвання дадзеных:

Спечаныя металічныя фільтры выкарыстоўваюцца ў фільтрацыі прылад захоўвання дадзеных, якая ўяўляе сабой працэс выдалення забруджванняў з прылад захоўвання дадзеных, такіх як жорсткія дыскі і цвёрдацельныя назапашвальнікі.

У дадатак да гэтых спецыфічных прыкладанняў, спеченные металічныя паўправадніковыя газавыя фільтры таксама выкарыстоўваюцца ў шэрагу іншых прыкладанняў у паўправадніковай прамысловасці. Іх універсальнасць і надзейнасць робяць іх важным інструментам для вытворцаў паўправаднікоў.

Шукаеце высакаякасныя газавыя фільтры з металічных паўправаднікоў?

HENGKO - ваш галоўны партнёр для OEM-рашэнняў у сістэмах вытворчасці паўправаднікоў.

Нашы высокадакладныя фільтры забяспечваюць надзейнасць і эфектыўнасць вашых працэсаў, прапаноўваючы вам перавагу на канкурэнтным рынку.

Чаму выбіраюць фільтры HENGKO?

* Найвышэйшая якасць і даўгавечнасць
* Індывідуальныя рашэнні, якія адпавядаюць вашым канкрэтным патрэбам
* Палепшаная прадукцыйнасць для вытворчасці паўправаднікоў

Не дазваляйце праблемам фільтрацыі стрымліваць вашу вытворчасць.

Звярніцеся да нас сёння, каб даведацца, як нашы металічныя фільтры могуць зрабіць рэвалюцыю ў вашай вытворчай сістэме.

Звяжыцеся з намі па адрасеka@hengko.com

Супрацоўнічайце з HENGKO і зрабіце крок да дасканаласці ў вытворчасці паўправаднікоў!