Вытворца фільтруючых элементаў высокай чысціні, які забяспечвае дакладнае кіраванне патокам для фабрык і чыстых памяшканняў
Вытворца фільтруючых элементаў высокай чысціні, які забяспечвае дакладны кантроль патоку
для фабрык і чыстых памяшканняў
Апісанне
Фільтры павярхоўнага мантажу HENGKO распрацаваны ў адпаведнасці з высокімі патрабаваннямі інтэграваных газавых сістэм, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых інструментах OEM. Гэтыя фільтры забяспечваюць найлепшую ў галіны фільтрацыю з памерам 0,003 мкм, выключную прадукцыйнасць і надзейнасць з эфектыўнасцю перахопу часціц ≥99,9999999% (9-LRV) пры 120 слп/мін.
Вырабленыя з трывалай нержавеючай сталі 316L, спечанай метадам парашковага фармавання для фільтруючага элемента і корпуса, гэтыя фільтры адпавядаюць спецыфікацыям SEMI F86-0304 і маюць двухпортавыя кампаненты, прызначаныя для газаразмеркавальных сістэм дыяметрам 1,125 цалі з канфігурацыяй C-вобразнага ўшчыльнення. Яны падтрымліваюць максімальны ўваходны ціск 3,4 МПа пры 100°C і максімальны працоўны перапад ціску 0,69 МПа пры 100°C.
Гэтыя спецыялізаваныя фільтры, сумяшчальныя са спецыфікацыямі ўшчыльненняў тыпу C і W, забяспечваюць чысціню пасля запаўнення фільтра дзякуючы вызваленню часціц.
З паверхняй Ra< 1,6 мкм на вонкавай паверхні і Ra< 0,13 мкм унутранай паверхні, яны прызначаны для вытрымкі высокіх тэмператур да 460°C. Распрацаваныя для лёгкай інтэграцыі і мадэрнізацыі модульнай канструкцыі, гэтыя фільтры спрашчаюць усталёўку і абслугоўванне, дапамагаючы аптымізаваць прадукцыйнасць сістэмы ў падачы і кіраванні паўправадніковымі газамі.
Асаблівасць прадукту
▶ Агульная канструкцыя з нержавеючай сталі 316L
▶ Мініяцюрны дызайн, кампактная канструкцыя, эканомія месца
▶ Выдатныя характарыстыкі газазамяшчэння і дэсорбцыі
▶ Устойлівы да высокіх тэмператур, высокага ціску і карозіі
▶ Корпус з электрапаліраванай нержавеючай сталі 316L
▶ Лёгкая і эфектыўная ўстаноўка і абслугоўванне
▶ Механічнае ўшчыльненне, канструкцыйна не зваранае з асяроддзем
Тэхнічны ліст
| Тэхнічныя параметры | Значэнні |
|---|---|
| Матэрыял фільтруючага элемента | Спечаная парашка з нержавеючай сталі 316L |
| Матэрыял корпуса | Нержавеючая сталь 316L |
| Максімальны ціск на ўваходзе | 3,4 МПа пры 100°C |
| Максімальны дыферэнцыял эксплуатацыі | 0,69 МПа пры 100°C |
| Праверка ўзроўню ўцечкі гелія | 1x10⁻¹¹ куб.см/мін |
| Хуткасць уцечкі гелія | 1x10⁻⁹ куб.см/мін |
| Апрацоўка паверхні | Знешняя паверхня Ra< 1,6 мкм |
| Унутраная паверхня Ra< 0,13 мкм | |
| Максімальная рабочая тэмпература | 460°C |
| Эфектыўнасць перахопу часціц | ≥99,9999999% (9-LRV) пры 120 слпм (эталонная MPPS, усе часціцы) |
| Чысціня ніжэй па цячэнні | Выкід часціц:< 0,03 часціц/літр (< 1 часціца/фут³) |
| Лятучыя рэчывы:<10 ppb вільготнасці | |
| Памер перахопу часціц | ≥0,003 мкм |
| Дыяпазон патоку | 0 ~ 120 шк/хв |
Памер
Вось нумар дэталі, якую вы можаце заказаць, і падрабязнасці памеру:
| Мадэль прадукту | Хуткасць патоку | Вышыня H (мм) | Дакладнасць фільтрацыі | Узровень ачысткі |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 слапхв | 51,6 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00638 | 40 ш/мін | 82,9 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00687 | 80 шквал/хв | 126,2 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00688 | 120 шквал/хв | 167,9 | 0,003 мкм | C |
Тыповыя прымянення
Для выкарыстання з W-вобразным і C-вобразным ушчыльненнем, модульнымі сістэмамі падачы газу для павярхоўнага мантажу памерам 1,125 цалі і 1,5 цалі.
Дашліце нам сваё паведамленне:
