паўправадніковыя газавыя фільтры

Чаму трэба выкарыстоўваць газавыя фільтры ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў? 

Газавыя фільтры неабходныя ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў па некалькіх важных прычынах:

1. Выдаленне забруджванняў

Вытворчасць паўправаднікоў ўключае ў сябе мноства адчувальных працэсаў, дзе нават самыя дробныя забруджванні,

напрыклад, часціцы пылу, вільгаць або рэшткі хімічных рэчываў, могуць мець шкодныя наступствы. Газавыя фільтры зняць

цвёрдыя часціцы, прымешкі і забруджвальныя рэчывы ў паветры з тэхналагічных газаў, забяспечваючы чыстае навакольнае асяроддзе

і захаванне цэласнасці паўправадніковых пласцін.

2. Захаванне стандартаў звышчысціні

Паўправадніковая прамысловасць патрабуе надзвычай высокага ўзроўню чысціні газаў, якія выкарыстоўваюцца, як і прымешкі

прывесці да дэфектаў паўправадніковых прыбораў. Газавыя фільтры дапамагаюць дасягнуць звышчыстай якасці газу, прадухіляючы

забруджванне і забеспячэнне кансістэнцыі і надзейнасці вырабаў.

3. Ахоўнае абсталяванне

Забруджвальныя рэчывы ў газах могуць не толькі пашкодзіць паўправадніковыя пласціны, але і адчувальныя

абсталяванне, якое выкарыстоўваецца ў вытворчым працэсе, такое як рэактары хімічнага асаджэння з паравай фазы (CVD) і

сістэмы тручэння. Газавыя фільтры абараняюць гэтыя дарагія машыны ад пашкоджанняў, зніжаючы рызыку

прастоі і дарагі рамонт.

4. Прадухіленне страты ўраджаю

Ураджайнасць мае вырашальнае значэнне ў вытворчасці паўправаднікоў, дзе дэфекты могуць выклікаць істотныя страты вытворчасці.

Нават адна часціца або хімічная прымешка можа прывесці да страты ўраджаю, што паўплывае на прадукцыйнасць і прыбытковасць.

Газавыя фільтры забяспечваюць чысціню тэхналагічных газаў, зводзячы да мінімуму забруджванне і памяншаючы страты ўраджаю.

5. Забеспячэнне якасці прадукцыі

Пастаяннасць і якасць маюць першараднае значэнне ў вытворчасці паўправаднікоў. Забруджаныя газы могуць ствараць

неадпаведнасці, якія прыводзяць да ненадзейных паўправадніковых прыбораў. Выкарыстоўваючы газавыя фільтры, вытворцы могуць

гарантыя таго, што кожная партыя адпавядае патрабаваным строгім стандартам якасці, што прыводзіць да больш высокай прылады

прадукцыйнасць і даўгавечнасць.

6. Скарачэнне часу прастою

Забруджвальныя рэчывы ў тэхналагічных газах могуць выклікаць збой абсталявання, што патрабуе абслугоўвання або замены.

Выкарыстоўваючы газавыя фільтры, вытворцы могуць скараціць непрадбачаныя прастоі, падтрымліваць эфектыўнасць працы і

павялічыць тэрмін службы важнага абсталявання.

7. Хімічная сумяшчальнасць

Многія газы, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых працэсах, вельмі рэактыўныя або агрэсіўныя. Газавыя фільтры ёсць

распрацаваны, каб супрацьстаяць гэтым суровым хімічным асяроддзям, адначасова эфектыўна фільтруючы прымешкі, забяспечваючы

бяспечная і эфектыўная апрацоўка.

У цэлым, газавыя фільтры жыццёва важныя для падтрымання чысціні, надзейнасці і бяспекі паўправадніка

вытворчы працэс, дапамагаючы дасягнуць высокай якасці, без дэфектаў паўправадніковай прадукцыі ў той час

таксама абараняе каштоўнае абсталяванне.

Тыпы газавых фільтраў у працэсе вытворчасці паўправаднікоў

У працэсе вытворчасці паўправаднікоў розныя тыпы газавых фільтраў выкарыстоўваюцца для вырашэння розных

этапы і праблемы, звязаныя з чысцінёй газу і абаронай абсталявання.

Звычайна выкарыстоўваюцца тыпы газавых фільтраў:

1. Сажевыя фільтры

*Мэта: Для выдалення часціц, пылу і іншых цвёрдых забруджванняў з тэхналагічных газаў.

* Выкарыстанне: Часта ўсталёўваецца на розных этапах, каб абараніць пласціны, тэхналагічныя камеры і абсталяванне ад забруджвання часціцамі.

*Матэрыялы: Звычайна вырабляецца з спечанай нержавеючай сталі, PTFE або іншых матэрыялаў, якія забяспечваюць трываласць і хімічную сумяшчальнасць.

2. Малекулярныя або хімічныя фільтры (Getter Filters)

*Мэта: Для выдалення пэўных малекулярных забруджванняў, такіх як вільгаць, кісларод або арганічныя злучэнні, якія могуць прысутнічаць у тэхналагічных газах.

* Выкарыстанне: Выкарыстоўваецца, калі патрабуецца газ высокай чысціні, напрыклад, падчас працэсаў нанясення або тручэння.

*Матэрыялы: Часта вырабляецца з выкарыстаннем актываванага вугалю, цэаліту або іншых адсарбуючых матэрыялаў, спецыяльна прызначаных для ўлоўлівання малекулярных прымешак.

3. Газавыя фільтры высокай чысціні

*Мэта: Для дасягнення стандартаў газу звышвысокай чысціні (UHP), што вельмі важна для паўправадніковых працэсаў, дзе найменшыя прымешкі могуць паўплываць на якасць прадукцыі.

* Выкарыстанне: Гэтыя фільтры выкарыстоўваюцца ў такіх працэсах, як хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD) і плазменнае тручэнне, дзе прымешкі могуць выклікаць сур'ёзныя дэфекты.

*Матэрыялы: Выраблены з нержавеючай сталі са спецыялізаванымі мембранамі для падтрымання цэласнасці пры высокім ціску і ў экстрэмальных умовах.

4. Аб'ёмныя газавыя фільтры

*Мэта: Для ачысткі газаў на ўваходзе або перад размеркаваннем на вытворчыя лініі.

* Выкарыстанне: Размешчаны вышэй па плыні ў сістэме падачы газу для фільтрацыі газаў у масе перад іх падачай у асобныя прылады або рэактары.

*Матэрыялы: Гэтыя фільтры часта маюць высокую здольнасць апрацоўваць вялікія аб'ёмы газаў.

5. Газавыя фільтры кропкі выкарыстання (POU).

*Мэта: Каб пераканацца, што газы, якія паступаюць у кожны канкрэтны апрацоўчы інструмент, не ўтрымліваюць забруджванняў.

* Выкарыстанне: Усталёўваецца непасрэдна перад паступленнем газаў у тэхналагічнае абсталяванне, такое як камеры тручэння або асаджэння.

*Матэрыялы: Выраблена з матэрыялаў, сумяшчальных з рэактыўнымі газамі, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых працэсах, такіх як спечаны метал або PTFE.

6. Убудаваныя газавыя фільтры

*Мэта: Для забеспячэння ўбудаванай фільтрацыі для газаў, якія рухаюцца праз размеркавальную сістэму.

* Выкарыстанне: Усталяваны ўнутры газаправодаў у ключавых кропках, забяспечваючы бесперапынную фільтрацыю ва ўсёй сістэме.

*Матэрыялы: Спечаная нержавеючая сталь або нікель для забеспячэння хімічнай сумяшчальнасці з газамі.

7. Газавыя фільтры павярхоўнага мантажу

*Мэта: Непасрэдна ўсталёўваецца на кампаненты газавай панэлі для выдалення часціц і малекулярных забруджванняў.

* Выкарыстанне: Гэтыя фільтры, распаўсюджаныя ў цесных месцах, забяспечваюць эфектыўную фільтрацыю ў кропцы выкарыстання ў крытычна важных праграмах.

*Матэрыялы: Нержавеючая сталь высокай чысціні для трываласці і сумяшчальнасці з газамі вытворчасці паўправаднікоў.

8. Субмікронныя фільтры

*Мэта: Для адфільтроўвання вельмі дробных часціц, часта субмікронных памераў, якія ўсё яшчэ могуць выклікаць значныя дэфекты ў паўправадніковых працэсах.

* Выкарыстанне: Выкарыстоўваецца ў працэсах, якія патрабуюць найвышэйшага ўзроўню фільтрацыі для падтрымання звышчыстага газу, такіх як фоталітаграфія.

*Матэрыялы: спечаныя металічныя або керамічныя матэрыялы высокай шчыльнасці, якія могуць эфектыўна захопліваць нават самыя дробныя часціцы.

9. Фільтры з актываваным вуглём

*Мэта: Для выдалення арганічных забруджванняў і лятучых газаў.

* Выкарыстанне: Выкарыстоўваецца там, дзе неабходна выдаліць газападобныя прымешкі, каб прадухіліць забруджванне пласцін або парушэнні рэакцыі.

*Матэрыялы: матэрыялы з актываваным вуглём, прызначаныя для адсорбцыі арганічных малекул.

10.Спеченные металічныя газавыя фільтры

*Мэта: Для эфектыўнага выдалення часціц і забруджванняў, адначасова забяспечваючы структурную трываласць і ўстойлівасць да высокага ціску.

* Выкарыстанне: Шырока выкарыстоўваецца на некалькіх этапах паўправадніковага працэсу, дзе неабходная надзейная фільтрацыя.

*Матэрыялы: Як правіла, выраблены з спечанай нержавеючай сталі або іншых металічных сплаваў, каб супрацьстаяць суровым асяроддзі і хімікатам.

11.Гідрафобныя газавыя фільтры

*Мэта: Для прадухілення траплення вільгаці або вадзяной пары ў паток газу, што вельмі важна ў пэўных працэсах, адчувальных нават да невялікай колькасці вільгаці.

* Выкарыстанне: Часта выкарыстоўваецца ў такіх працэсах, як сушка пласцін або плазменнае тручэнне.

*Матэрыялы: Гідрафобныя мембраны, такія як PTFE, каб гарантаваць, што газы не забруджваюцца вільгаццю.

Гэтыя розныя тыпы газавых фільтраў старанна выбіраюцца на аснове іх спецыфічных уласцівасцей, сумяшчальнасці матэрыялаў і прыдатнасці для унікальных умоў працэсаў вытворчасці паўправаднікоў. Правільнае спалучэнне фільтраў мае важнае значэнне для падтрымання найвышэйшага ўзроўню чысціні газу, забеспячэння стабільнасці працэсу і прадухілення дэфектаў у паўправадніковых прыладах.

Часта задаюць пытанні аб паўправадніковых газавых фільтрах

FAQ 1:

Што такое паўправадніковыя газавыя фільтры і чаму яны важныя?

Паўправадніковыя газавыя фільтры з'яўляюцца найважнейшымі кампанентамі ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў.

Яны прызначаныя для выдалення прымешак і забруджванняў з тэхналагічных газаў, такіх яккісларод,

азот, вадарод і розныя хімічныя газы.

Гэтыя прымешкі могуць істотна паўплываць на якасць, выхад і надзейнасць паўправадніковых прыбораў.

Дзякуючы эфектыўнай фільтрацыі газавых патокаў, паўправадніковыя газавыя фільтры дапамагаюць:

1.Падтрымлівайце высокую чысціню:

Пераканайцеся, што газы, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе вытворчасці, не ўтрымліваюць забруджванняў, якія могуць пагоршыць прадукцыйнасць прылады.

2. Прадухіліць пашкоджанне абсталявання:

Абараніце адчувальнае паўправадніковае абсталяванне ад часціц і хімічных забруджванняў, якія могуць прывесці да дарагіх прастояў і рамонту.

3.Павышэнне выхаду прадукцыі:

Паменшыць колькасць дэфектаў і паломак, выкліканых газавымі прымешкамі, што прыводзіць да больш высокай прадукцыйнасці.

4. Павышэнне надзейнасці прылады:

Звядзіце да мінімуму доўгатэрміновую дэградацыю паўправадніковых прыбораў з-за праблем, звязаных з забруджваннем.

FAQ 2:

Якія распаўсюджаныя тыпы паўправадніковых газавых фільтраў?

У вытворчасці паўправаднікоў выкарыстоўваецца некалькі тыпаў газавых фільтраў, кожны з якіх прызначаны для выдалення

канкрэтныя віды забруджванняў.

Найбольш распаўсюджаныя тыпы ўключаюць:

1.Сажавыя фільтры:

Гэтыя фільтры выдаляюць з газавых патокаў цвёрдыя часціцы, такія як пыл, валакна і металічныя часціцы.

Як правіла, яны вырабляюцца з такіх матэрыялаў, як спечаны метал, кераміка або мембранныя фільтры.

2. Хімічныя фільтры:

Гэтыя фільтры выдаляюць хімічныя прымешкі, такія як вадзяная пара, вуглевадароды і агрэсіўныя газы.

Яны часта заснаваны на прынцыпах адсорбцыі або паглынання з выкарыстаннем такіх матэрыялаў, як актываваны вугаль,

малекулярныя сіты, або хімічныя сарбенты.

3. Камбінаваныя фільтры:

Гэтыя фільтры аб'ядноўваюць магчымасці цвёрдых і хімічных фільтраў для выдалення абодвух тыпаў

забруджвальнікі. Яны часта выкарыстоўваюцца ў крытычна важных прыкладаннях, дзе важная высокая чысціня.

FAQ 3:

Як выбіраюцца і праектуюцца паўправадніковыя газавыя фільтры?

Выбар і распрацоўка паўправадніковых газавых фільтраў уключае некалькі фактараў, у тым ліку:

* Патрабаванні да чысціні газу:

Жаданы ўзровень чысціні для канкрэтнага газавага патоку вызначае эфектыўнасць фільтрацыі і магутнасць фільтра.

* Хуткасць патоку і ціск:

Аб'ём газу, які трэба адфільтраваць, і працоўны ціск уплываюць на памер, матэрыял і канфігурацыю фільтра.

* Тып і канцэнтрацыя забруджвання:

Канкрэтныя тыпы забруджванняў, якія прысутнічаюць у патоку газу, вызначаюць выбар фільтруючага асяроддзя і памер яго пор.

* Тэмпература і вільготнасць:

Умовы эксплуатацыі могуць паўплываць на прадукцыйнасць і тэрмін службы фільтра.

* Кошт і абслугоўванне:

Неабходна ўлічваць першапачатковы кошт фільтра і патрабаванні да яго пастаяннага абслугоўвання.

Уважліва ўлічваючы гэтыя фактары, інжынеры могуць выбраць і распрацаваць газавыя фільтры, якія адпавядаюць канкрэтным патрабаванням

патрэбы працэсу вытворчасці паўправаднікоў.

Як часта трэба замяняць газавыя фільтры ў вытворчасці паўправаднікоў?

Частата замены газавых фільтраў у вытворчасці паўправаднікоў залежыць ад некалькіх фактараў, у тым ліку ад тыпу

працэс, узровень забруджванняў і канкрэтны тып фільтра, які выкарыстоўваецца. Як правіла, замена газавых фільтраў праводзіцца рэгулярна

графік тэхнічнага абслугоўвання, каб прадухіліць любы рызыка заражэння,часта кожныя 6-12 месяцаў, у залежнасці ад умоў выкарыстання

і рэкамендацыі вытворцы фільтра.

Аднак графікі замены могуць моцна вар'іравацца ў залежнасці ад эксплуатацыйнага асяроддзя. Напрыклад:

*Працэсы з высокім узроўнем забруджвання:

Магчыма, спатрэбіцца часцей замяняць фільтры, калі яны падвяргаюцца ўздзеянню высокіх узроўняў

часціцы або малекулярнае забруджванне.

*Крытычна важныя прыкладанні:

У працэсах, якія патрабуюць надзвычай высокай чысціні (напрыклад, фоталітаграфія), фільтры часта замяняюцца

папераджальна, каб пераканацца, што якасць газу не пагаршаецца.

Маніторынг перападу ціску на фільтры з'яўляецца агульным метадам для вызначэння неабходнасці замены фільтра.

Па меры назапашвання забруджванняў перапад ціску на фільтры павялічваецца, што сведчыць аб зніжэнні эфектыўнасці.

Вельмі важна замяніць фільтры да зніжэння іх эфектыўнасці, бо любое парушэнне чысціні газу можа выклікаць значныя дэфекты,

знізіць ураджайнасць і нават прывесці да пашкоджання абсталявання.

З якіх матэрыялаў зроблены газавыя фільтры для прымянення ў паўправадніках?

Газавыя фільтры, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых прылажэннях, зроблены з матэрыялаў, якія могуць падтрымліваць самыя высокія стандарты чысціні

і вытрымліваюць жорсткія ўмовы, якія сустракаюцца на вытворчасці. Агульныя матэрыялы ўключаюць:

*Нержавеючая сталь (316L): Найбольш шырока выкарыстоўваны матэрыял дзякуючы сваёй хімічнай устойлівасці, механічнай трываласці і

магчымасць вырабляць з дакладнымі памерамі пор з дапамогай тэхналогіі спякання. Ён падыходзіць для фільтрацыі як рэактыўных

і інэртныя газы.

*PTFE (политетрафторэтилен): PTFE з'яўляецца хімічна інэртным матэрыялам, які выкарыстоўваецца для фільтрацыі высокарэактыўных або каразійных рэчываў

газы. Ён валодае выдатнай хімічнай сумяшчальнасцю і гідрафобнымі ўласцівасцямі, што робіць яго ідэальным для людзей, адчувальных да вільгаці

працэсаў.

*Нікель і Хастеллой:

Гэтыя матэрыялы выкарыстоўваюцца для прымянення пры высокіх тэмпературах або для працэсаў з выкарыстаннем агрэсіўных хімічных рэчываў

дзе нержавеючая сталь можа пагаршацца.

*Кераміка:

Керамічныя фільтры выкарыстоўваюцца для прыкладанняў, дзе патрабуецца экстрэмальная тэрмаўстойлівасць, або для субмікронных фільтраў

фільтраванне часціц.

Выбар матэрыялу залежыць ад тыпу газу, наяўнасці рэактыўных рэчываў, тэмпературы і

іншыя параметры працэсу. Матэрыялы павінны быць нерэактыўнымі, каб гарантаваць, што яны не ўносяць ніякіх прымешак

або часціц у працэс, падтрымліваючы такім чынам узровень чысціні газу, неабходны для вырабу паўправаднікоў.

Якая роля кропкавых фільтраў (POU) у вытворчасці паўправаднікоў?

Фільтры кропкі выкарыстання (POU) неабходныя ў вытворчасці паўправаднікоў, паколькі яны забяспечваюць ачыстку газаў непасрэдна перад

ўвод інструментаў працэсу. Гэтыя фільтры забяспечваюць апошнюю абарону ад забруджванняў, якія маглі патрапіць у паток газу

падчас захоўвання, транспарціроўкі або размеркавання, тым самым павышаючы стабільнасць працэсу і якасць прадукцыі.

Асноўныя перавагі фільтраў POU:

*Размешчаны побач з крытычна важным абсталяваннем (напрыклад, камерамі тручэння або нанясення), каб прадухіліць трапленне забруджванняў на пласціну.

*Выдаліце ​​як цвёрдыя часціцы, так і малекулярныя прымешкі, якія могуць патрапіць у сістэму апрацоўкі газу або ўздзеянне навакольнага асяроддзя.

* Пераканайцеся, што газ найвышэйшай якасці дастаўляецца ў тэхналагічны інструмент, абараняючы абсталяванне і павышаючы якасць вырабленых прылад.

*Паменшыць зменлівасць працэсу, павялічыць ураджайнасць і паменшыць узровень дэфектаў.

*Незаменны ў перадавых паўправадніковых асяроддзях, дзе нават нязначныя прымешкі могуць істотна паўплываць на прадукцыйнасць і надзейнасць прадукцыі.

Як газавыя фільтры прадухіляюць прастой абсталявання ў паўправадніковых працэсах?

Газавыя фільтры прадухіляюць прастоі абсталявання ў паўправадніковых працэсах, гарантуючы, што тэхналагічныя газы пастаянна пазбаўлены

забруджванняў, якія могуць прывесці да пашкоджання вытворчага абсталявання. Выраб паўправаднікоў прадугледжвае выкарыстанне высока

адчувальнае абсталяванне, уключаючы камеры нанясення, машыны плазменнага тручэння і сістэмы фоталітаграфіі.

Калі такія забруджвальныя рэчывы, як пыл, вільгаць або рэактыўныя прымешкі, трапляюць у гэтыя машыны, яны могуць выклікаць шэраг праблем,

ад засмечвання клапанаў і соплаў да пашкоджання паверхняў пласцін або ўнутраных памяшканняў рэактара.

Выкарыстоўваючы высакаякасныя газавыя фільтры, вытворцы прадухіляюць трапленне гэтых забруджванняў, зніжаючы верагоднасць

пазапланавыя тэхнічныя работы і паломкі абсталявання. Гэта дапамагае ў падтрыманні стабільных графікаў вытворчасці, мінімізацыі

дарагі прастой і пазбяганне значных выдаткаў, звязаных з рамонтам або заменай.

Акрамя таго, добра абслугоўваныя фільтры дапамагаюць падоўжыць тэрмін службы ключавых кампанентаў, такіх як рэгулятары патоку, клапаны і рэактары,

тым самым павышаючы агульную эфектыўнасць і прыбытковасць вытворчага працэсу.

Такім чынам, азнаёмцеся з некаторымі падрабязнасцямі пра паўправадніковыя газавыя фільтры, калі ў вас ёсць яшчэ пытанні.

Гатовы аптымізаваць працэс вытворчасці паўправаднікоў з дапамогай высакаякасных рашэнняў для фільтрацыі газу?

Звяжыцеся з HENGKO сёння, каб атрымаць экспертныя рэкамендацыі і індывідуальныя рашэнні для задавальнення вашых патрэб.

Пасля праверкі некаторых дэталяў інфармацыі пра паўправадніковы газавы фільтр, калі ў вас ёсць яшчэ пытанні?

Гатовы аптымізаваць працэс вытворчасці паўправаднікоў з дапамогай высакаякасных рашэнняў для фільтрацыі газу?

Звяжыцеся з HENGKO сёння, каб атрымаць экспертныя рэкамендацыі і індывідуальныя рашэнні для задавальнення вашых патрэб.

Напішыце нам па адрасеka@hengko.comдля атрымання дадатковай інфармацыі.

Наша каманда тут, каб дапамагчы вам павысіць эфектыўнасць вытворчасці і якасць прадукцыі.