Датчык тэмпературы і вільготнасці для схемы кантролю вільготнасці тэмпературы ў чыстым памяшканні Semiconductor
Выстава прадукту
Тэмператураівільготнасць чыстага памяшкання ў асноўным вызначаецца ў адпаведнасці з патрабаваннямі працэсу, але пры ўмове выканання патрабаванняў працэсу, пачуццё камфорту павінна быць прынята пад увагу.З павышэннем патрабаванняў да чысціні паветра назіраецца тэндэнцыя ўсё больш жорсткіх патрабаванняў да тэмпературы і вільготнасці.
Паколькі дакладнасць апрацоўкі становіцца ўсё больш і больш тонкай, таму дыяпазон ваганняў тэмпературы ўсё менш і менш.Напрыклад, у працэсе літаграфічнага экспанавання пры буйнамаштабнай вытворчасці інтэгральных схем розніца ў каэфіцыенце цеплавога пашырэння паміж шкляной і крэмніевай пласцінамі ў якасці матэрыялу маскі павінна быць усё меншай і меншай.Дыяметр крамянёвай пласціны 100 мкм, павышэнне тэмпературы на 1 градус прывядзе да лінейнага пашырэння 0,24 мкм, таму павінна быць тэмпература ±0,1 градуса, у той жа час значэнне вільготнасці звычайна нізкае, таму што людзі пацеюць, прадукт будзе мець забруджванне, асабліва баяцца паўправадніковага семінара натрыю, гэты семінар не павінен перавышаць 25 градусаў.
Высокая вільготнасць выклікае больш праблем.Калі адносная вільготнасць перавышае 55%, на сценцы трубы астуджальнай вады ўтворыцца раса, што прывядзе да розных аварый, калі гэта адбудзецца ў дакладных прыладах або ланцугах.Пры адноснай вільготнасці 50% лёгка іржавее.Акрамя таго, калі вільготнасць занадта высокая, пыл, які прыліп да паверхні крамянёвага чыпа, будзе хімічна адсарбаваны на паверхні, каб супрацьстаяць выдаленню.Чым вышэй адносная вільготнасць, адгезію цяжка выдаліць, але калі адносная вільготнасць ніжэй за 30%, часціцы лёгка адсарбуюцца на паверхні з-за дзеяння электрастатычнай сілы, і вялікая колькасць паўправадніковых прылад схільны да паломкі.Аптымальны дыяпазон тэмператур для вытворчасці вафель - 35-45%.
Такім чынам, кантроль тэмпературы і вільготнасці асабліва важны, HENGKO можа даць вам шэрагІндывідуальныя рашэнні для апрацоўкі перадатчыка тэмпературы і вільготнасці!
Датчык тэмпературы і вільготнасці для схемы кантролю вільготнасці тэмпературы ў чыстым памяшканні Semiconductor
Не можаце знайсці прадукт, які адпавядае вашым патрэбам?Звяжыцеся з нашым аддзелам продажаўПаслугі па наладцы OEM/ODM! 
